Date de publication : 10 mai 2020 Date de mise à jour : 7 octobre 2024
Résolution des problèmes courants avec les équipements de fabrication de semi-conducteurs （Pré-processus）
Machines de nettoyage de plaquettes
Processus de nettoyage
La prévention de la corrosion des composants est requise
Des vis avec une résistance chimique supérieure peuvent être sélectionnées pour résister à l'environnement dans l'équipement où des produits chimiques sont appliqués.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance chimique
|
Résistance chimique |
Résistance à la chaleur |
Non-magnétique |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|
|
Vis en résine |
○ |
|||
|
Vis SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|
|
Hastelloy ＊1 Vis |
○ |
○ |
||
|
Vis en céramique |
○ |
○ |
||
|
Vespel ＊2 vis |
○ |
○ |
||
|
Vis avec revêtement PFA pour tête |
○ |
＊1：Hastelloy est une marque déposée de Haynes International, Inc.
＊2：VESPEL est une marque déposée de DuPont.
Voir ici pour plus de détails sur les vis résistantes aux produits chimiques▶
Équipement d'oxydation/diffusion
Procédé de traitement thermique/oxydation/diffusion
Une résistance aux températures élevées et aux produits chimiques est requise
Pour les environnements où divers gaz sont utilisés à des températures élevées, sélectionnez des vis présentant une excellente résistance à la chaleur et aux produits chimiques.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance à la chaleur Résistance chimique
|
Résistance à la chaleur |
Résistance chimique |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|
|
Inconel ＊1 Vis |
○ |
○ |
|
|
Hastelloy ＊2 vis |
○ |
○ |
|
|
MAT21 ＊3 vis |
○ |
＊1：Inconel est une marque déposée de Special Metals Corporation.
＊2：Hastelloy est une marque déposée de Haynes International, Inc.
＊3：MAT et MAT21 sont des marques déposées de Proterial, Ltd.
Enduiseur/développeur
Processus de formation du film
Une capacité de production améliorée est requise
Utilisez un couplage à haute rigidité pour la rotation à grande vitesse requise pour la formation d'un film de résine photosensible sur la plaquette.
Caractéristiques requises pour les accouplements：Haute rigidité
|
Produit recommandé |
|
|---|---|
|
Accouplements de disques |
La prévention de la corrosion des composants est requise
Des vis avec une résistance chimique supérieure peuvent être sélectionnées pour résister à l'environnement dans l'équipement où des produits chimiques sont appliqués.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance chimique
|
Résistance à la chaleur |
Résistance chimique |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|
|
Vis Inconel |
○ |
○ |
＊1：Inconel est une marque déposée de Special Metals Corporation.
Matériel de lithographie à semi-conducteurs
Procédé de photolithographie
Une précision améliorée de l'équipement est requise
Même les petites vis utilisées au niveau des joints permettent d'améliorer la précision de l'exposition en supprimant l'influence de la réflexion.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Anti reflet
|
Anti reflet |
Résistance chimique |
Prévention du grippage/du grippage |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|
|
Vis traitées chrome noir basse température |
○ |
○ |
○ |
|
|
Vis en acier inoxydable noir |
○ |
Vis antireflet Voir ici pour plus de détails▶
Équipement de gravure
Processus de gravure
Une résistance aux températures élevées et aux produits chimiques est requise
Pour les environnements où divers gaz et solvants sont utilisés à des températures élevées, sélectionnez des vis présentant une excellente résistance à la chaleur et aux produits chimiques.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance à la chaleur Résistance chimique
|
Résistance à la chaleur |
Résistance chimique |
Vide |
Non-magnétique |
Haute résistance |
Poids léger |
Prévention de la saisie |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Vis en céramique |
○ |
○ |
||||||
|
Vis avec capuchon en céramique |
|
○ |
○ |
|||||
|
Hastelloy ＊1 Vis |
○ |
○ |
||||||
|
Vis SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|||||
|
Vis en titane |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
|||
|
Vis durcies en surface |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy est une marque déposée de Haynes International, Inc.
Vis résistantes aux produits chimiques▶
Les dommages au moteur doivent être évités
Des composants avec d'excellentes propriétés isolantes sont nécessaires comme contre-mesure pour empêcher la mise sous tension des condensateurs variables sous vide.
Caractéristiques requises pour les accouplements：Propriétés isolantes
|
Produit recommandé |
|
|---|---|
|
Couplage pour condensateur à vide |
Matériel d'implantation ionique
Processus d'implantation ionique
Un degré de vide amélioré est requis
Le degré de vide peut être encore amélioré en éliminant l'air emprisonné dans le trou de vis.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Vide
|
Vide |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|
|
Vis avec trou de ventilation |
○ |
Une vis qui ne grippe pas à haute température est requise
Nous avons des vis qui empêchent le grippage dû au cycle thermique dans des environnements de 1000°C ou plus.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance à la chaleur
|
Résistance à la chaleur |
Prévention de la saisie |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|
|
Vis durcies en surface |
○ |
○ |
Une précision améliorée de l'équipement est requise
Des composants non magnétiques doivent être utilisés pour les fixations afin d'empêcher les ions de se déformer en raison des propriétés magnétiques de la pièce.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Non-magnétique
Non-magnétique |
Résistance chimique |
Haute résistance |
Poids léger |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|---|
|
Vis en bronze phosphoreux |
○ |
|
|
||
Vis Titane |
○ |
○ |
○ |
○ |
Équipement de dépôt de film/équipement de pulvérisation cathodique
Processus de formation du film
Les dommages au moteur doivent être évités
Des composants avec d'excellentes propriétés isolantes sont nécessaires comme contre-mesure pour empêcher la mise sous tension des condensateurs variables sous vide.
Caractéristiques requises pour les accouplements：Propriétés isolantes
|
Produit recommandé |
|
|---|---|
|
Accouplements pour condensateur variable à vide |
Une résistance aux températures élevées et aux produits chimiques est requise
Pour les environnements où divers gaz sont utilisés à des températures élevées, sélectionnez des vis présentant une excellente résistance à la chaleur et aux produits chimiques.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Résistance à la chaleur Résistance chimique
|
Résistance à la chaleur |
Résistance chimique |
Non-magnétique |
Haute résistance |
Poids léger |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Vis en céramique |
○ |
○ |
||||
|
Vis SUS316L |
○ |
○ |
○ |
|||
|
Vis en molybdène |
○ |
|||||
|
Hastelloy ＊1 Vis |
○ |
○ |
||||
|
Vis en nickel |
○ |
○ |
||||
|
Inconel ＊2 vis |
○ |
○ |
||||
|
Vis en titane |
|
○ |
○ |
○ |
○ |
＊1：Hastelloy est une marque déposée de Haynes International, Inc.
＊2：Inconel est une marque déposée de Special Metals Corporation.
Vis résistantes aux produits chimiques▶
Un degré de vide amélioré est requis
Le degré de vide peut être encore amélioré en éliminant l'air emprisonné dans le trou de vis.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Vide
|
Vide |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|
|
Vis avec trou de ventilation |
○ |
Équipement d'inspection physique
Processus d'inspection/évaluation
Un degré de vide amélioré est requis
Le degré de vide peut être encore amélioré en éliminant l'air emprisonné dans le trou de vis.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Vide
|
Vide |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|
|
Vis avec trou de ventilation |
○ |
Une plus grande précision d'inspection est requise
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Non magnétique
|
Non magnétique |
Résistance à la chaleur |
Résistance chimique |
Haute résistance |
Poids léger |
Produit recommandé |
|
|---|---|---|---|---|---|---|
|
Vis en résine, PPS |
○ |
○ |
○ |
|||
|
Vis en titane |
○ |
|
○ |
○ |
○ |
|
|
Vis en bronze phosphoreux |
○ |
Voir ici pour plus de détails sur les vis non magnétiques▶
Des contre-mesures en cas de desserrage des vis et de contamination sont nécessaires
Une gamme de vis à tête creuse hexagonale non magnétiques est disponible.
Par rapport aux douilles à fente et aux douilles à empreinte cruciforme, la forme du capuchon à tête hexagonale est moins susceptible de subir une déformation, ce qui la rend efficace pour prévenir la contamination.
La haute résistance du titane 64 permet également un serrage à des couples plus élevés, ce qui le rend également efficace comme contre-mesure au desserrage.
La gamme de 64 vis à tête creuse hexagonale en titane et bronze phosphoreux s'étend de M2 vers le haut.
| Image |  |
 |
||
|---|---|---|---|---|
| Nom de la pièce | Vis à tête cylindrique à six pans creux - Alliage de titane haute intensité |
Vis à tête cylindrique à six pans creux -Bronze phosphoreux |
||
| Numéro d'article | SNSTG |
SNSP |
||
| Matériel | 64 Titane | C5191 (Bronze phosphoreux) | ||
| Taille de filetage | M2～M10 | M2～M8 | ||
Matériel d'inspection électrique
Processus d'inspection/évaluation
Une précision améliorée de l'équipement est requise
Réalise un gain de servomoteur encore plus important, ce qui réduit le temps de stabilisation.
Caractéristiques requises pour les composants d'entraînement：Prise en charge à haut gain
|
Produit recommandé |
|
|---|---|
|
Accouplements en caoutchouc à gain élevé |
Un équipement plus compact est nécessaire
Nous avons des vis de petit diamètre de M2.6 et moins, y compris S0.6 up et M1 up.
Caractéristiques requises pour les vis spéciales：Peu encombrant
|
Produit recommandé |
|
|---|---|
|
Vis miniature |
