Date de publication : 26 octobre 2022 Date de mise à jour : 30 juillet 2024
N°6 : Cyclisme Thermique
Qu'est-ce que le cyclage thermique ?
Selon l'équipement spécifique, l'intérieur de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs peut atteindre des températures élevées de 500° à 1000°.
Des exemples sont les générateurs d'ions dans les équipements d'implantation ionique, les sources de lumière dans les équipements de lithographie, etc.
De plus, les équipements de revêtement et de gravure peuvent également atteindre des températures de 200° à 400° lors du traitement des tranches.
Les changements répétés de température dans un équipement de ce type sont appelés cyclage thermique.
Des exemples sont les générateurs d'ions dans les équipements d'implantation ionique, les sources de lumière dans les équipements de lithographie, etc.
De plus, les équipements de revêtement et de gravure peuvent également atteindre des températures de 200° à 400° lors du traitement des tranches.
Les changements répétés de température dans un équipement de ce type sont appelés cyclage thermique.
NBK propose des vis qui peuvent être utilisées pour gérer les environnements à haute température et les cycles thermiques.
<Environnements à haute température>Des vis résistant aux environnements à haute température sont disponibles.
Les matériaux en tungstène et molybdène pur présentent des points de fusion élevés (3683°C pour le tungstène, 2623°C pour le molybdène pur).
Contactez notre service client pour d'autres matériaux.
Matériel | Tungstène | Tantale | Inconel | Molybdène pur | Carbure de silicium (SiC) | Al2O3(99.5% Alumine) | VESPEL SP-1 |
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Nom de la pièce | Vis mécaniques à tête cylindrique fendue (tungstène) | Vis à tête cylindrique à six pans creux (tantale) | Vis d'assemblage à tête creuse - équivalent Inconel | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Molybdène | Vis à tête cylindrique fendue (carbure de silicium) | Boulons à tête cylindrique à six pans creux en céramique | Vis en plastique - Vis d'assemblage à tête à six pans creux - VESPEL (Grade: SP-1) |
Numéro d'article | SNCW | SNSTA | SNSI | SNSM | SICX-SX | SCX-C | SPD-C |
Cliquez ici pour la programmation |
<Environnements haute température + vide>
Les trous de dégazage pour les équipements sous vide sont usinés sur des matériaux résistants à la chaleur.
Matériel | Inconel | Molybdène pur |
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Nom de la pièce | Vis d'assemblage à tête à six pans creux (équivalent Inconel) | Vis d'assemblage à tête creuse hexagonale en molybdène avec trou de ventilation |
Numéro d'article | SVSI | SVSM |
<Prévention grippage>
Des vis résistantes au grippage et au grippage dans les environnements à cycle thermique sont disponibles.
Matériel | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUSXM7 (équivalent à SUS304) |
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Nom de la pièce | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - SUS316L / Traitement de durcissement superficiel | Vis d'assemblage à tête hexagonale avec trou de ventilation / traitement de durcissement de la surface | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - revêtement MoS2 | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Chrome noir basse température | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement PTFE | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement doré | Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement fluoré |
Numéro d'article | SNSL-PN | SVSL-PN | SNSS-MO | SNSS-RY | SNSS-TF | SNSS-AUS | SNSS-FC |
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<Prévention du desserrage>
Des vis de type rondelle intégrée sont disponibles. Les rondelles élastiques sont utilisées pour absorber la dilatation thermique et aider à prévenir le desserrage.
Matériel | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUS316L | SUS316L | SUSXM7 (équivalent à SUS304) | SUSXM7 (équivalent à SUS304) |
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Nom de la pièce | Vis d'assemblage à tête à six pans creux avec rondelle imperdable et trou de ventilation | Vis à tête cylindrique à six pans creux intégrées avec rondelle avec trou de ventilation - Acier inoxydable haute résistance | Vis à tête cylindrique à six pans creux intégrées avec rondelle - Acier inoxydable haute résistance | Vis d'assemblage à tête creuse hexagonale avec rondelles imperdables (I = 3) | Vis mécaniques à tête cylindrique à empreinte cruciforme Phillips avec rondelles imperdables (I = 3) |
Numéro d'article | SVSQS | SVSQLG | SNSQLG | SNSQS | SNPI3S |
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Matériel | TW340 (Titane Grade 2) | Équivalent à SUS304 | Équivalent à SUS304 |
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Nom de la pièce | Vis à tête cylindrique à six pans creux en titane avec rondelles imperdables (I = 3) | Vis à tête hexagonale avec rondelle captive (P=2) | Vis à tête hexagonale avec rondelle captive (P=3) |
Numéro d'article | SNSI3T | SNHP2S | SNHP3S |
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Exemples de solutions aux problèmes par processus de fabrication de semi-conducteurs
Des exemples de solutions aux problèmes sont introduits par processus de fabrication de semi-conducteurs.Pré-traitement ici
Post-traitement ici
"L'industrie des semi-conducteurs et NBK" numéros de dos
Liste ici
Présentation du produit
Enjeux / études de cas
Amélioration de la productivité / maniabilité
Compact / peu encombrant / léger
Haute résistance / rigidité élevée
Résistance à la chaleur / résistance à la corrosion
Salle blanche / aspirateur / non magnétique
Équipement de fabrication de semi-conducteurs
L'industrie des semi-conducteurs et NBK
Accouplements
Vis spéciales
Eléments de machine