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Date de publication : 26 octobre 2022 Date de mise à jour : 30 juillet 2024

N°6 : Cyclisme Thermique

Qu'est-ce que le cyclage thermique ?

Selon l'équipement spécifique, l'intérieur de l'équipement de fabrication de semi-conducteurs peut atteindre des températures élevées de 500° à 1000°.
Des exemples sont les générateurs d'ions dans les équipements d'implantation ionique, les sources de lumière dans les équipements de lithographie, etc.
De plus, les équipements de revêtement et de gravure peuvent également atteindre des températures de 200° à 400° lors du traitement des tranches.

Les changements répétés de température dans un équipement de ce type sont appelés cyclage thermique.
Visualisation du cyclage thermique
Visualisation du cyclage thermique

NBK propose des vis qui peuvent être utilisées pour gérer les environnements à haute température et les cycles thermiques.

<Environnements à haute température>
Des vis résistant aux environnements à haute température sont disponibles.
Les matériaux en tungstène et molybdène pur présentent des points de fusion élevés (3683°C pour le tungstène, 2623°C pour le molybdène pur).
Contactez notre service client pour d'autres matériaux.
  SNCW_index  SNSI_ind SNSM_ind Index_SICX-SX SCX-C_ind SPD-C_ind
Matériel Tungstène Tantale Inconel Molybdène pur Carbure de silicium (SiC) Al2O3(99.5% Alumine) VESPEL SP-1
Nom de la pièce Vis mécaniques à tête cylindrique fendue (tungstène) Vis à tête cylindrique à six pans creux (tantale) Vis d'assemblage à tête creuse - équivalent Inconel Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Molybdène Vis à tête cylindrique fendue (carbure de silicium) Boulons à tête cylindrique à six pans creux en céramique Vis en plastique - Vis d'assemblage à tête à six pans creux - VESPEL (Grade: SP-1)
Numéro d'article SNCW SNSTA SNSI SNSM SICX-SX SCX-C SPD-C
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<Environnements haute température + vide>
Les trous de dégazage pour les équipements sous vide sont usinés sur des matériaux résistants à la chaleur.
  Index_SVSI Index_SVSM
Matériel Inconel Molybdène pur
Nom de la pièce Vis d'assemblage à tête à six pans creux (équivalent Inconel) Vis d'assemblage à tête creuse hexagonale en molybdène avec trou de ventilation
Numéro d'article SVSI SVSM

<Prévention grippage>
Des vis résistantes au grippage et au grippage dans les environnements à cycle thermique sont disponibles.
  SNSL-PN_ind SVSL-PN_index SNSS-MO_ind SNSS-RY_ind SNSS-TF_ind SNSS-AUS_ind SNSS-FC_ind
Matériel SUS316L SUS316L SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUSXM7 (équivalent à SUS304)
Nom de la pièce Vis d'assemblage à tête à six pans creux - SUS316L / Traitement de durcissement superficiel Vis d'assemblage à tête hexagonale avec trou de ventilation / traitement de durcissement de la surface Vis d'assemblage à tête à six pans creux - revêtement MoS2 Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Chrome noir basse température Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement PTFE Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement doré Vis d'assemblage à tête à six pans creux - Revêtement fluoré
Numéro d'article SNSL-PN SVSL-PN SNSS-MO SNSS-RY SNSS-TF SNSS-AUS SNSS-FC
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<Prévention du desserrage>
Des vis de type rondelle intégrée sont disponibles. Les rondelles élastiques sont utilisées pour absorber la dilatation thermique et aider à prévenir le desserrage.
  SVSQS_ind  SVSQLG_index SNSQLG_index  
Matériel SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUS316L SUS316L SUSXM7 (équivalent à SUS304) SUSXM7 (équivalent à SUS304)
Nom de la pièce Vis d'assemblage à tête à six pans creux avec rondelle imperdable et trou de ventilation Vis à tête cylindrique à six pans creux intégrées avec rondelle avec trou de ventilation - Acier inoxydable haute résistance Vis à tête cylindrique à six pans creux intégrées avec rondelle - Acier inoxydable haute résistance Vis d'assemblage à tête creuse hexagonale avec rondelles imperdables (I = 3) Vis mécaniques à tête cylindrique à empreinte cruciforme Phillips avec rondelles imperdables (I = 3)
Numéro d'article SVSQS SVSQLG SNSQLG SNSQS SNPI3S
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  SNSI3T    
Matériel TW340 (Titane Grade 2) Équivalent à SUS304 Équivalent à SUS304
Nom de la pièce Vis à tête cylindrique à six pans creux en titane avec rondelles imperdables (I = 3) Vis à tête hexagonale avec rondelle captive (P=2) Vis à tête hexagonale avec rondelle captive (P=3)
Numéro d'article SNSI3T SNHP2S SNHP3S
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Exemples de solutions aux problèmes par processus de fabrication de semi-conducteurs

Des exemples de solutions aux problèmes sont introduits par processus de fabrication de semi-conducteurs.
Pré-traitement ici
Post-traitement ici

"L'industrie des semi-conducteurs et NBK" numéros de dos

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Présentation du produit Enjeux / études de cas Amélioration de la productivité / maniabilité Compact / peu encombrant / léger Haute résistance / rigidité élevée Résistance à la chaleur / résistance à la corrosion Salle blanche / aspirateur / non magnétique Équipement de fabrication de semi-conducteurs L'industrie des semi-conducteurs et NBK Accouplements Vis spéciales Eléments de machine